熱式質(zhì)量流量計是一種利用傳熱原理，即流動(dòng)流體與熱源(流體中被加熱的物體或加在測量管上的發(fā)熱體)之間的熱交換關(guān)系來(lái)測量流量的儀器。目前主要用于測量氣體。

20世紀90年代初，熱式質(zhì)量流量計的全球銷(xiāo)量約占流量計的8%，約為45000臺。90年代中期國內銷(xiāo)量估計在每年1000臺左右。過(guò)去，過(guò)程工業(yè)中使用的儀器主要是熱分布的，但散熱(或冷卻)效應是近年來(lái)發(fā)展起來(lái)的。

熱式質(zhì)量流量計有兩種類(lèi)型，熱分布流量計，它利用流動(dòng)流體傳遞的熱量來(lái)改變測量管壁溫度分布的熱傳導分布效應，稱(chēng)出了熱TMF，利用散熱(冷卻)效應。另外，由于結構檢測元件伸入測量管內，所以也稱(chēng)為浸入式或侵入式。一些在使用過(guò)程中從管道外部插入工藝管道的儀器稱(chēng)為插入式。

熱式質(zhì)量流量計可以測量低流速(氣體0.02~2m/s)下的微流量;浸沒(méi)式TMF可以測量低-中-高流速(氣體2-60m/s)，而插入式TMF更適合大管徑。

熱式質(zhì)量流量計沒(méi)有運動(dòng)部件，沒(méi)有分流管的熱分布儀表沒(méi)有自由流動(dòng)部件，壓力損失很小;熱分布儀表和帶分流管的浸入式儀表雖然測量管中有節流片，但壓力損失很小。

熱式質(zhì)量流量計的表現相對可靠。與導出的質(zhì)量流量計相比，它不需要溫度傳感器、壓力傳感器和計算單元，只需要流量傳感器，組成簡(jiǎn)單，故障概率低。

熱式質(zhì)量流量計用于雙原子氣體，如H2、N2、O2、CO、NO等接近理想氣體。不需要使用這些氣體進(jìn)行特殊校準，而是直接使用空氣校準儀器。